MEMS

MEMS封装新方案：玻璃基板打造高可靠性密封腔体结构

MEMS器件的性能高度依赖于其封装环境。无论是惯性传感器需要的真空参考腔，还是压力传感器需要隔绝的敏感结构，密封腔体的长期可靠性直接决定了传感器的精度与寿命。传统封装方案曾长期依赖陶瓷外壳或金属管壳实现气密密封，但随着MEMS器件朝着微型化、集成化和晶圆级制造方向发展，这些方案在成本和尺寸上已难以为继。

Same Sky® 推出新麦克风开发套件

(俄勒冈州奥斯韦戈湖2026年5月5日消息)Same Sky®及其 Audio Group今天宣布推出麦克风开发套件。每款套件由四个独立的麦克风评估电路组成，带有镀通孔I/O端子，可用于多种测试选项。四个可拆卸的评估电路各自提供不同的Same Sky麦克风配置，包括模拟和数字MEMS 麦克风以及降噪驻极体电容麦克风。

晶圆深刻蚀为何先塌侧壁？聚合物残留为何拖累后段？

深硅刻蚀看起来像是在晶圆材料里垂直打通一条通道，真正难守的是高深宽比结构里电荷、反应物和副产物并不会按理想直线运动。侧壁失真与残留堆积，常常是同一套等离子条件的两面。

MEMS探针尖：硅基微加工技术在晶圆测试中的高密度集成优势

在半导体制造领域，晶圆测试是确保芯片良率和功能完整性的关键环节。随着芯片制程向7纳米以下推进，引脚数量激增、间距持续微缩，传统探针技术已难以满足高密度、高精度的测试需求。基于硅基微加工技术的MEMS探针尖凭借其微米级加工精度、超高探针密度和优异的可靠性，成为先进晶圆测试的核心解决方案。

抢占低空经济新赛道，大联大诠鼎集团携手ST成功举办飞行汽车全链路方案线上研讨会

2026年4月2日，致力于亚太地区市场的国际领先半导体元器件分销商---大联大控股旗下诠鼎集团宣布，于3月25日携手意法半导体(ST)成功举办“低空经济加速跑，ST飞行汽车全链路方案”线上研讨会。本次活动聚焦飞行汽车与低空经济产业发展趋势，深度解读ST一站式系统解决方案的技术实力与应用价值。

MEMS传感器的“微纳革命”，惯性导航到车规级气压监测的精度跃迁

在半导体制造的精密世界里，一场由微米级结构引发的技术革命正重塑现代工业的底层逻辑。MEMS(微机电系统)传感器，这一融合了机械结构与电子电路的微型器件，正以“润物细无声”的方式渗透进汽车、航空航天、消费电子等领域。从惯性导航系统中的高精度姿态感知，到车规级气压监测对电池安全的守护，MEMS传感器用“微纳之力”推动着技术精度的跨越式发展。

基于MEMS工艺的微型压电振动传感器：低频响应与抗干扰能力提升策略

工业设备健康监测与消费电子交互升级，微型压电振动传感器正以毫米级身躯承载着关键使命。这类基于MEMS工艺的器件通过捕捉0.1Hz-10Hz频段的微弱振动信号，为桥梁结构安全评估、电机故障预警等场景提供核心数据支撑。然而，传统传感器在低频响应灵敏度与环境适应性方面存在显著短板，如何突破技术瓶颈成为行业焦点。

微机电系统（MEMS）传感器(三)

微机电系统（MEMS）传感器(二)

微机电系统（MEMS）传感器(一)

Pickering Interfaces将在 SEMICON Taiwan 展示面向半导体应用的业界标准模块化开关方案

展位位置：英国馆 | 时间：2025年9月10–12日 | 地点：台北南港展览馆

MEMS惯性传感器小型化，三轴加速度计与陀螺仪的集成封装与抗振设计

物联网、消费电子与汽车智能化，MEMS惯性传感器正经历从分立式向高度集成化、微型化的深刻变革。三轴加速度计与陀螺仪作为运动感知的核心器件，其集成封装与抗振性能直接决定终端设备的可靠性、精度与使用寿命。本文从技术挑战、设计方法与工程实践三个维度，系统阐述MEMS惯性传感器的小型化实现路径。

MEMS加速度计+边缘AI：工业振动监测系统的实时异常检测架构设计

智能制造转型浪潮，工业设备预测性维护需求激增。某汽车生产线曾因电机轴承突发故障导致整条产线停机12小时，直接经济损失超200万元;某风电场因齿轮箱振动异常未及时检测，最终引发灾难性设备损毁。传统振动监测方案依赖高精度工业传感器与云端分析，存在部署成本高、实时性差、数据隐私风险等问题。基于MEMS加速度计与边缘AI的实时异常检测架构，正成为工业物联网领域的技术突破口。

安全法规仍然是推动汽车 MEMS 产业增长的关键

在汽车产业持续变革的当下，汽车 MEMS(微机电系统)产业正处于快速发展的进程中。诸多因素共同作用于这一产业的发展，而其中安全法规的影响力不容小觑，始终是推动汽车 MEMS 产业增长的关键要素。

智能工厂的“神经末梢”：MEMS加速度计在工业机器人末端执行器力控中的应用

工业机器人末端执行器如同人类双手般完成抓取、装配、打磨等核心任务，而力控精度直接决定了生产良率与设备寿命。MEMS加速度计凭借其微米级尺寸、微瓦级功耗与毫秒级响应速度，正成为工业机器人末端力控系统的“神经末梢”，推动制造业向柔性化、智能化方向深度演进。

防爆型MEMS加速度传感器在化工场景的封装技术与认证标准解析

在化工行业高危环境中，防爆型MEMS加速度传感器作为设备状态监测的核心组件，其封装技术与认证标准直接决定了系统安全性和可靠性。本文将从封装工艺创新、防爆结构强化、认证体系适配三个维度，解析该领域技术突破与行业规范。

低噪声MEMS加速度计在半导体设备精密定位中的信号处理挑战与突破

半导体制造设备向7nm及以下制程加速演进，低噪声MEMS加速度计已成为Stepper、晶圆检测机等核心装备实现纳米级精密定位的关键传感器。其信号处理系统需在0.01g量级的微弱加速度信号中，剥离出由机械振动、热漂移、电磁干扰等引发的复合噪声，同时满足实时性、低功耗与高可靠性的严苛要求。然而，现有技术方案在超低噪声设计、多物理场耦合补偿、动态非线性校正等方面面临根本性挑战，迫使行业重新审视从传感器接口到数字信号处理的全链条创新路径。

电气化和智能化，会给汽车上的 MEMS 带来什么变化?

在当今汽车行业，电气化与智能化已成为不可逆转的发展潮流，深刻地改变着汽车的整体架构与性能表现。而微机电系统(MEMS)作为融合了机械、光学、流体和电子等多种功能于单个硅芯片的紧凑型设备，凭借其重量轻、体积小、成本低、功耗小等显著优势，早已在汽车领域占据了重要地位。随着汽车电气化和智能化进程的加速推进，MEMS 在汽车上正迎来诸多意义深远的变化。

MEMS加速度计的模拟前端设计：从电荷放大到Σ - Δ调制

MEMS（微机电系统）加速度计作为一种重要的传感器，广泛应用于消费电子、汽车安全、工业控制等领域。其模拟前端设计是决定加速度计性能的关键环节，负责将微弱的机械信号转换为可处理的电信号，并进行数字化处理。本文将详细介绍MEMS加速度计模拟前端从电荷放大到Σ - Δ调制的设计过程。

优化导航系统中的MEMS IMU数据一致性和时序

对于初次尝试评估惯性检测解决方案的人来说，现有的计算和I/O资源可能会限制数据速率和同步功能，进而难以在现场合适地评估传感器能力。常见的挑战包括如何以MEMS IMU所需的数据速率进行时间同步的数据采集，从而充分发挥其性能并进行有效的数字后处理。计算平台循环速度可能很慢（低至10 Hz），而且这些平台往往不支持传感器数据更新产生中断来及时获取数据。本文介绍了系统开发人员可以使用哪些技术，来解决控制系统慢速/异步计算循环与IMU传感器高性能数据采集和处理(>1000 Hz)之间的矛盾。