湿法清洗最容易产生错觉的地方，是出槽时表面看起来已经发亮，就以为污染已经真正离开晶圆。对金属离子和微粒而言，清洗、漂洗和干燥其实是一条连续的再分配过程，稍有失配就会把污染重新送回表面。
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