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晶圆注入为何会沿晶向走偏？充电损伤为何总落在薄栅上？
离子注入看似只是把剂量和能量打进晶圆，真正难控的是晶体本身会引导离子走向，而束流和绝缘结构又会把额外电荷留在最脆弱的介质上。轨迹偏移和充电损伤，往往同时埋下后续失效。
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离子注入技术
离子注入是指当真空中有一束离子束射向一块固体材料时，离子束把固体材料的原子或分子撞出固体材料表面，这个现象叫做溅射;而当离子束射到固体材料时，从固体材料表面弹了回来，或者穿出固体材料而去，这些现象叫做散射;另外有一种现象是，离子束射到固体材料以后，受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低下来，并最终停留在固体材料中的这一现象叫作离子注入。
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打破国外垄断！国产高能离子注入机重大突破
6月30日消息，据新华社报道，中国电子科技集团宣布，由该集团旗下电科装备自主研制的高能离子注入机，成功实现百万电子伏特高能离子加速，性能达到国际先进水平。 在晶圆制造中，总共有七大关键环节，分别是扩
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万业企业：旗下集成电路离子注入机进入晶圆验证阶段
近日有消息显示，万业企业（600641.SH）全资子公司凯世通的低能大束流集成电路离子注入机已搬进杭州湾洁净室，目前正在根据集成电路芯片客户工艺要求，进行离子注入晶圆验证。 图1：万业企业子公司凯世
