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直流参数测试中开关元器件的高精度与高可靠性实现
直流参数测试是半导体器件、集成电路、电子模组品质检测的核心环节，主要完成导通电阻、漏电流、阈值电压、正向压降等关键直流参数的稳态检测，是把控产品性能、筛查工艺缺陷、保障设备稳定性的基础工序。开关元器件作为测试系统的核心切换单元，承担着测试通道切换、信号通断、负载接入与断开的关键作用，其性能直接决定测试数据的精准度与设备长期运行的稳定性。在高精度直流测试场景中，普通开关器件易出现接触电阻漂移、信号串扰、漏电干扰、切换抖动等问题，引发测试误差、数据波动、设备误判等故障。因此，通过技术优化实现开关元器件的高精度、高可靠运行，是提升直流参数测试系统性能的核心关键。
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Verigy 93000中直流参数的并行测试方法
1 引言 在当前SoC 快速发展及半导体行业激烈竞争的阶段，提高测试效率、降低测试成本，是从业者需要思考和解决的课题。 Verigy 93000 是单一平台的可升级测试系统，它是满足SoC 技术全面集
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