后段金属

关注1人关注

我要报错

半导体BEOL中，铜线为何会塌边？密度补偿怎么做？

后段金属做得稳不只看沉积厚度，很多互连问题是在化学机械抛光和平坦化阶段被放大的。铜线一旦在抛光里局部塌边，后面再叠加低介电层和多层通孔，电阻、时序和可靠性都会一起偏出设计窗口。

工业控制
2026-04-07

后段金属铜线密度补偿