离子注入看似只是把剂量和能量打进晶圆，真正难控的是晶体本身会引导离子走向，而束流和绝缘结构又会把额外电荷留在最脆弱的介质上。轨迹偏移和充电损伤，往往同时埋下后续失效。
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